膜厚測定

★エリプソメーター専用分光器★
 

◆ソリューション1. デュアル分光器システム：ワイドフルスペクトル（紫外線から近赤外線まで）ソリューション
お客様はに分光器を2台お選びいただけます。測定波長範囲はそれぞれ180-1100 nmと950-1700 nmで、これにOtOがカスタマイズ化したデュアル分光器システムを組み合わせることで、気軽に180-1700nmの波長範囲と高光学識別率を得て、単一分光器の測定制限をなくすことができるため、エリプソメーターなどの紫外線から近赤外線までの波長範囲の測定に応用できます。


◆ソリューション 2. 迷光除去アルゴリズム
OtOが開発した「迷光除去アルゴリズム」により、低透過率、低反射率、高吸収度、微弱測定光源、極短露光時間などの測定環境に適しており、アルゴリズムキャリブレーション後は迷光を0.01%にまで低減できます。

迷光除去アルゴリズムの透過率測定に対する貢献